“涂胶显影是半导体器件生产过程中不可或缺的一项关键工艺，我们正在努力实现涂胶显影工艺及设备方案的国产替代及降本。”近日，在位于合肥蜀山经济技术开发区的合肥伟进科技有限公司（以下简称“伟进科技”），公司总经理王磊热情地向笔者介绍道。

半导体是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。在芯片制造过程中，涂胶显影设备需要和光刻机配套使用，其主要作用就是涂胶、烘烤以及显影。光刻过程中曝光图案形成的好坏和涂胶显影设备有直接关系，所以涂胶显影机也是芯片制造环节必不可少的设备之一。

伟进科技是一家专业从事半导体光刻涂胶/显影、曝光应用的设备制造商。公司通过技术引进加自主研发，在半导体专用设备领域已逐步培育自主竞争力，其核心产品有涂胶显影机、清洗机、全自动化学管理系统、光阻供应系统等，与行业龙头企业建立了合作关系。

此次，公司首条半导体涂胶显影设备生产线在蜀山经开区正式投产运营，可广泛应用于6/8/12英寸单晶圆处理，标志着其在半导体处理领域发展取得了阶段性成果。

“我们这条生产线的产品可以在芯片制造、先进集成电路的晶圆加工及封装工艺等相关领域进行应用，并且我们的软件来源于自主研发，设备完全自动化，相信后续将会很好的市场前景。”王磊表示。

近年来，合肥加速推进以集成电路为核心的半导体产业发展，蜀山作为全市首创之区，正不断加快相关产业布局。在全域科创良好氛围与优厚产业土壤的吸引之下，伟进科技于2023年10月正式落户蜀山经开区。仅仅用了半年时间，便完成了落地到投产运营的全过程，跑出了项目建设的新速度。

未来，蜀山经开区将以市场为牵引，以应用为导向，为企业发展提供“管家式”服务，强化要素保障，扎实培育产业土壤，不断吸引更多优质企业落地，推动产业实现集群化发展。

（戴根 徐明 季云冈）